電子材料研究室

走査型電子顕微鏡(SEM)

 

　走査型電子顕微鏡(SEM)とは、真空中で電子ビームを試料に当て、試料から出てくる情報を測定します。SEMでは二次電子(左図)という電子を使い拡大して見れるようにしています。

なぜ二次電子で拡大できるか?
　右図のように、電子ビームで表面をなぞり反射した電子を電子レンズで集光し映像化することにより、試料表面の形がわかるという仕組みです。なぞる間隔が狭くなるほど、画素が細くなり拡大できる倍率が大きくなります。