設備

 

荒井研究室で所有する装置や、機器分析センターにあるよく使う装置です。


「有機金属気相成長装置(MOVPE)」
有機金属を高温で熱分解して半導体結晶をウェハ上に結晶成長する装置。10種類の材料を配合したり、ナノメートルオーダーの超格子を作ることができ、可視光、近赤外、中赤外波長帯域の半導体レーザ、LED、受光素子、太陽電池、電子デバイスなどの先端材料研究を行うことができる国内有数の装置。
エピクエスト社製 SV3001

 

 

「ホール効果測定装置」
結晶成長した半導体のキャリア濃度、移動度などを測定します。

 

 

「フォトルミネッセンス装置」
レーザ光を当てて、可視~中赤外波長域の発光スペクトルを測定します。結晶成長した半導体のバンドギャップや結晶性を評価します。

 

 

「レーザ照射電気特性評価装置」
作製した光電変換デバイスにプローブを当てて、レーザ光照射時の発電量(電圧ー電流特性)を測定します。

 

 

「I-Vカーブトレーサ」
作製した発光・受光デバイスの電流と電圧の特性(立ち上がり電圧、内部抵抗など)を精密に測定する装置です。

 

 

「レーザテスター」
作製した半導体レーザの電流ー電圧ー光出力特性を測定する装置です。


 

「オシロスコープ」
電子回路の波形を調べたり、任意の波形の電気信号を作ったりする装置です。光センシング用制御回路の動作試験や自作回路の検証に用います。

 

 

「X線回折装置(機器分析センター内)」
結晶成長した半導体の格子定数や超格子の周期を評価する装置です。

 

 

「マスクアライナ(機器分析センター内)」
半導体にフォトレジストのパターンを転写するために、フォトマスクと半導体試料を位置合わせをして紫外線を照射する装置です。

 

 

「スピンコーターとホットプレート(機器分析センター内)」
半導体にフォトレジストを薄く塗布するためのスピンコーターと定着させるためのホットプレートです。

 

 

「透過型電子顕微鏡(機器分析センター内)」
結晶成長した半導体の転位など原子配列の乱れを評価する装置です。原子のつぶつぶまで見えます。

 

 

「電子顕微鏡(機器分析センター内)」
半導体の断面観察により膜厚や凹凸を評価する装置です。