第8回 半導体材料・デバイスフォーラム 2016.11.5 学会発表 / Conference 2016年11月5日、熊本市にて「第8回 半導体材料・デバイスフォーラム」が開催され、柴田君(M2)が参加し、成果発表を行いました Poster『ジメチルシリコーンオイルと紫外線を用いた酸化シリコン膜の形成及び2-プロパノールガス照射熱処理による高品質化』柴田 康佑、西岡 賢祐
