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2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会


3月17-20日の4日間、青山学院大学相模原キャンパスにて、2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会が行われました。

西岡研究室の伊藤くん(D2)が参加し、成果発表を行いました。

Oral

混合させたシリコーンオイルとオゾンガスを用いた酸化シリコン膜の低温形成

伊藤拓也、西岡賢祐